ICS 31.020 L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 16880—1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 Guidelines for photomask defect classification and size definition 1997-06-20发布 1998-03-01实施 国家技术监督局 发布 GB/T16880-1997 目 次 前言 1范围 引用标准 3 掩模缺陷的类别 光掩模缺陷大小的定义

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