(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122976027.2 (22)申请日 2021.11.30 (73)专利权人 弘塑科技股份有限公司 地址 中国台湾新竹市香 山区中华路六段89 号 (72)发明人 黄立佐　吴进原　张修凯　 (74)专利代理 机构 上海翼胜专利商标事务所 (普通合伙) 31218 专利代理师 翟羽 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B02C 4/08(2006.01) B02C 4/30(2006.01) B02C 4/28(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 搅碎机、 晶圆震荡装置和晶圆清洗系统 (57)摘要 本申请公开了一种搅碎机、 晶圆震荡装置和 晶圆清洗系统。 搅碎机包含框架、 晶舟和处理装 置。 所述晶舟设置在所述框架上， 配置为承载晶 圆。 所述处理装置设置在所述框架上且位于所述 框架和所述晶舟之间。 所述处理装置与所述晶舟 分隔设置。 所述处理装置面对所述晶舟的开口使 得从所述晶圆分离的异物由所述晶舟的开口进 入所述处理装置。 所述处理装置配置为将所述异 物搅碎， 使得前往下游管路的颗粒不会阻塞管 路， 以确保管路系统的顺畅。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 216528769 U 2022.05.13 CN 216528769 U 1.一种搅碎机， 其特 征在于， 所述搅碎机包 含： 框架； 晶舟， 设置在所述框架上， 配置为承载晶圆， 其中所述晶舟包含容置腔、 第一开口和第 二开口， 所述容置腔配置为容置所述晶圆， 所述第一开口作为提供所述晶圆进入或离开所 述晶舟的通道， 以及所述第二开口相对于所述第一开口， 并且所述第二开口作为排出所述 容置腔内的从所述晶圆分离的异 物的通道； 以及 处理装置， 设置在所述框架上且位于所述框架和所述晶舟之间， 其中所述处理装置与 所述晶舟分隔设置， 以及所述处理装置面对所述晶舟的所述第二开口使得所述异物由所述 晶舟的所述第二 开口进入所述处 理装置， 并且所述处 理装置配置为将所述异 物搅碎。 2.如权利要求1所述的搅碎机， 其特征在于， 所述处理装置包含一对齿轮， 且所述对齿 轮可转动地 安装在所述框架上。 3.如权利要求2所述的搅碎机， 其特征在于， 所述处理装置还包含驱动组， 与所述对齿 轮连接， 配置为驱动所述对齿轮彼此逆向旋转。 4.一种晶圆震荡装置， 其特 征在于， 所述晶圆震荡装置包 含： 机架， 包含相对的第一端和第二端； 搅碎机， 设置所述机架的所述第一端， 包 含： 框架， 与所述机架的所述第一端固定连接； 晶舟， 设置在所述框架上， 配置为承载晶圆， 其中所述晶舟包含容置腔、 第一开口和第 二开口， 所述容置腔配置为容置所述晶圆， 所述第一开口作为提供所述晶圆进入或离开所 述晶舟的通道， 以及所述第二开口相对于所述第一开口， 并且所述第二开口作为排出所述 容置腔内的从所述晶圆分离的异 物的通道； 以及 处理装置， 设置在所述框架上且位于所述框架和所述晶舟之间， 其中所述处理装置与 所述晶舟分隔设置， 以及所述处理装置面对所述晶舟的所述第二开口使得所述异物由所述 晶舟的所述第二 开口进入所述处 理装置， 并且所述处 理装置配置为将所述异 物搅碎； 以及 升降装置， 设置在所述机架 的所述第二端， 配置为控制所述机架沿着垂直方向移动以 带动所述搅碎机进行往复运动。 5.如权利要求4所述的晶圆震荡装置， 其特征在于， 所述升降装置， 包含： 伸缩杆和马 达， 所述伸缩杆与所述机架的所述第二端固定连接， 以及所述马达与所述伸缩杆连接， 配置 为控制所述伸缩杆的伸缩。 6.如权利要求4所述的晶圆震荡装置， 其特征在于， 所述搅碎机的所述处理装置包含一 对齿轮， 且所述对齿轮可转动地 安装在所述框架上。 7.如权利要求6所述的晶圆震荡装置， 其特征在于， 所述搅碎机的所述处理装置还包含 驱动组， 与所述对齿轮连接， 配置为驱动所述对齿轮彼此逆向旋转。 8.一种晶圆清洗系统， 其特 征在于， 所述晶圆清洗系统包 含： 槽体； 管路组， 与所述槽体连接， 配置为将工艺液体输入至所述槽体的内部或从所述槽体的 所述内部 输出所述工艺液体； 以及 晶圆震荡装置， 包 含： 机架， 包含相对的第一端和第二端；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216528769 U 2搅碎机， 设置所述机架 的所述第一端， 其中所述机架 的所述第一端和所述搅碎机设置 在所述槽体的所述内部， 以及所述搅碎机包 含： 框架， 与所述机架的所述第一端固定连接； 晶舟， 设置在所述框架上， 配置为承载晶圆， 其中所述晶舟包含容置腔、 第一开口和第 二开口， 所述容置腔配置为容置所述晶圆， 所述第一开口作为提供所述晶圆进入或离开所 述晶舟的通道， 以及所述第二开口相对于所述第一开口， 并且所述第二开口作为排出所述 容置腔内的从所述晶圆分离的异 物的通道； 以及 处理装置， 设置在所述框架上且位于所述框架和所述晶舟之间， 其中所述处理装置与 所述晶舟分隔设置， 以及所述处理装置面对所述晶舟的所述第二开口使得所述异物由所述 晶舟的所述第二 开口进入所述处 理装置， 并且所述处 理装置配置为将所述异 物搅碎； 以及 升降装置， 设置在所述机架 的所述第二端， 配置为控制所述机架沿着垂直方向移动以 带动所述搅碎机进行往复运动， 其中所述机架的所述第二端和所述升降装置设置在所述槽 体的外部。 9.如权利要求8所述的晶圆清洗系统， 其特征在于， 所述晶圆清洗系统的所述槽体包含 输入口和 排出口， 所述输入口设置在所述槽体的侧 壁， 以及所述排出 口设置在所述槽体的 底部并且面对所述搅碎机的所述处理装置， 以及通过所述搅碎机的所述处理装置搅碎后的 所述异物从所述 排出口排出； 以及 所述晶圆清洗系统的所述管路组包含循环管路， 包含输入管路、 输出管路、 泵和过滤 器， 所述输入管路与所述槽体的所述输入口连接， 所述输出管路连接至所述槽体的下游， 所 述泵连接所述输入管路和所述输出 管路， 以及所述过 滤器设置在所述输出 管路上。 10.如权利要求8所述的晶圆清洗系统， 其特征在于， 所述晶圆震荡装置的所述升降装 置， 包含： 伸缩杆和马达， 所述伸缩杆与所述机架的所述第二端固定连接， 以及所述马达与 所述伸缩杆 连接， 配置为控制所述伸缩杆的伸缩。 11.如权利要求8所述的晶圆清洗系统， 其特征在于， 所述搅碎机的所述处理装置包含 一对齿轮， 且所述对齿轮可转动地 安装在所述框架上。 12.如权利要求11所述的晶圆清洗系统， 其特征在于， 所述搅碎机的所述处理装置还包 含驱动组， 与所述对齿轮连接， 配置为驱动所述对齿轮彼此逆向旋转。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216528769 U 3