(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123049975.8 (22)申请日 2021.12.07 (73)专利权人 亚洲硅业 （青海） 股份有限公司 地址 810007 青海省西宁市经济技 术开发 区金硅路1号 专利权人 青海亚洲硅业半导体有限公司 　 青海省亚硅 硅材料工程技术有限 公司 (72)发明人 曹玲玲　鲍守珍　南辉　徐丽丽　 成世杰　梁哲　宗冰　 (74)专利代理 机构 成都华风专利事务所(普通 合伙) 51223 专利代理师 张巨箭 (51)Int.Cl. B05C 11/08(2006.01)B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种钙钛矿薄膜制备装置及其制备的钙钛 矿薄膜 (57)摘要 本实用新型公开了一种钙钛矿薄膜制备装 置及其制备的钙钛矿薄膜， 属于薄膜制备技术领 域， 装置包括壳体， 壳体内设有多级转台， 转台上 有用于旋涂钙钛矿前驱体溶液的基底； 装置还包 括用于收集转台上甩出的钙钛矿前驱体溶液的 汇液部件， 汇液部件连接有导管， 导管另一端设 于下级转台上。 本实用新型通过汇液部件收集上 级转台上甩出的多余钙钛矿前驱体溶液， 并通过 导管将钙钛矿 前驱体溶液导入至下级转台上， 实 现转台上甩出的钙钛矿前驱体溶液的多级二次 利用， 大大提高了钙钛矿前驱体溶液利用率， 经 济性高且对环境友好。 其次， 通过多级转台能够 一次性实现多张钙钛矿薄膜的制备， 大大提升了 钙钛矿薄膜的制备效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 216728015 U 2022.06.14 CN 216728015 U 1.一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述装置包括壳体， 壳体内设有多级旋转设 备， 各级旋转设备 的转台上有用于旋涂钙钛矿前驱体溶液 的基底； 装置还包括用于 收集转 台上甩出 的钙钛矿前驱体溶液 的汇液部件， 汇液部件连接有导管， 导管另一端设于下级转 台上。 2.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述汇液部件沿转台 周向设置 。 3.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述汇液部件为环形 汇液槽。 4.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述汇液部件上连接 有多根导管， 多根 导管的汇集口设于下级转台上。 5.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述汇液部件沿转台 周向倾斜设置， 导管 连接至汇液部件底部最低处。 6.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述旋转设备包括顺 次连接的动力设备、 传动部件和转台。 7.根据权利要求6所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述传动部件包括顺 次连接的转轴和传动带， 动力设备与转轴连接， 传动带与转台连接， 转台上有钙钛矿前驱体 溶液。 8.根据权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述壳体上开设有进 液口和出 液口。 9.根据权利要求8所述的一种钙钛矿薄膜制备装置， 其特征在于： 所述出液口下方设有 集液设备。 10.一种钙钛矿薄膜， 其特征在于： 采用权利要求1 ‑9中任意一项所述钙钛矿薄膜制备 装置进行制备。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216728015 U 2一种钙钛矿薄膜制备 装置及其制备的钙钛矿薄膜 技术领域 [0001]本实用新型涉及薄膜制备技术领域， 尤其涉及一种钙钛矿薄膜制备装置及其制备 的钙钛矿薄膜。 背景技术 [0002]可持续能源供应是世界发展中最重要的问题 之一。 目前可供选择几种新能源形 式 如太阳能、 水力发电、 风力和核电都具有较为广阔的前景。 钙钛矿太阳能电池以其优异的光 电性能成为当下研究 的热点， 钙钛矿薄膜研究更是钙钛矿太阳能电池研究中的核心。 目前， 钙钛矿薄膜的制备方法一般采用旋涂法。 旋涂法具有成本低， 操作简单重复性高的优点。 但 此方法在制备过程中钙钛矿前驱体溶液只有约5％或者更低的利用率， 经济性低且对环境 不友好； 且受限于 旋涂设备的尺寸， 无法实现大面积 钙钛矿薄膜的制备。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于克服现有技术中钙钛矿前驱体溶液利用率低的问题， 提供 了一种钙钛矿薄膜制备装置及其制备的钙钛矿薄膜。 [0004]本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的： 一种钙钛矿薄膜制 备装置， 所 述装置包括壳体， 壳体内设有多级旋转设备， 各级旋转设备 的转台上有用于旋涂钙钛矿前 驱体溶液 的基底； 装置还包括用于 收集转台上甩出 的钙钛矿前驱体溶液 的汇液部件， 汇液 部件连接有导管， 导管另一端设于下级转台上。 [0005]在一示例中， 所述汇液部件沿转台周向设置 。 [0006]在一示例中， 所述汇液部件为环形汇液槽 。 [0007]在一示例中， 所述汇液部件上连接有多根导管， 多根导管的汇集口设于下级转台 上。 [0008]在一示例中， 所述汇液部件沿转台周向倾斜设置， 导管连接至汇液部件底部最低 处。 [0009]在一示例中， 所述旋转设备包括 顺次连接的动力设备、 传动部件和转台。 [0010]在一示例中， 所述传动部件包括顺次连接的转轴和传动带， 动力设备与转轴连接， 传动带与转台连接， 转台上有用于 旋涂钙钛矿前驱体溶 液的基底。 [0011]在一示例中， 所述壳体上开设有 进液口和出 液口。 [0012]在一示例中， 所述出 液口下方设有集液设备。 [0013]需要进一步说明的是， 上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的 技术方案。 [0014]本实用新型还包括一种钙钛矿薄膜， 采用上述任一示例或者多个示例组成形成的 所述钙钛矿薄膜制备装置进行制备 得到。 [0015]与现有技 术相比， 本实用新型有益效果是： [0016]1.在一示例中， 通过汇液部件收集上级转台上甩出的多余钙钛矿前驱体溶液， 并说　明　书 1/5 页 3 CN 216728015 U 3