(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222099840.0 (22)申请日 2022.08.10 (73)专利权人 纳美半导体设备 （东莞） 有限公司 地址 523000 广东省东莞 市松山湖园区沁 园路17号1栋2单 元108室 (72)发明人 令龙军　钟国华　周军　 (74)专利代理 机构 广东灵顿知识产权代理事务 所(普通合伙) 44558 专利代理师 赖耀华 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01R 31/28(2006.01) (54)实用新型名称 一种高效多工位晶圆测试机 (57)摘要 本实用新型涉及芯片测试技术领域， 具体涉 及一种高效多工位晶圆测试机， 包括机座； 所述 机座设有龙门架、 上料架、 下料架、 第一测试模组 以及第二测试模组； 所述第一测试模组包括第一 直线机构、 第二直线机构以及第一测试机构； 所 述第二测试模组包括第三直线机构、 第四直线机 构以及第二测试机构； 所述龙门架设有机械手模 组； 所述龙门架设有第一CCD机构以及第二CCD机 构。 本实用新型通过设置两个测试模组， 每个测 试模组上设有两个直线机构， 并且每个直线机构 上均设有校正座， 配合第一CCD机构以及第二CCD 机构， 每个能够对校正座上的晶圆进行独立校 正， 只需要通过机械手模组将晶圆依次放入四个 校正座上， 即可以完成多个晶圆的校正， 大大地 提高了工作效率。 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 CN 217846050 U 2022.11.18 CN 217846050 U 1.一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 包括机座(1)； 所述机座(1)设有龙门架 (11)、 上料架(12)、 下 料架(13)、 第一测试模组以及第二测试模组； 所述第一测试模组包括第一直线机构(21)、 第二直线机构(22)以及第一测试机构 (91)； 所述第二测试模组包括第三直线机构( 23)、 第四直线机构( 24)以及第二测试机构 (92)； 所述第一直线机构(21)、 第二直线机构(22)、 第三直线机构(23)以及第 四直线机构 (24)分别设有第一校正 座(31)、 第二校正 座(32)、 第三校正 座(33)以及第四校正 座(34)； 所述龙门架(11)设有机械手模组； 所述机械手模组用于在上料架(12)、 第一校正座 (31)、 第二校正 座(32)、 第三校正 座(33)、 第四校正 座(34)以及下 料架(13)之间移动； 所述龙门架(11)设有第一CCD机构(41)以及第二CCD机构(42)； 所述第一CCD机构(41) 用于在第一校正座(31)与第二校正座(32)之间移动； 所述第二CCD机构(42)用于在第三校 正座(33)与第四校正 座(34)之间移动。 2.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述机械手模组包 括设于龙门架(11)的第一横向移动组件(51)、 设于第一横向移动组件(51)的第一升降移动 组件(52)以及设于第一升降移动组件(52)的吸附座(53)； 所述第一横向移动组件(51)用于 驱动吸附座(53)横向移动； 所述第一升降移动组件(52)用于驱动吸附座(53)升降； 所述吸 附座(53)设有若干个真空吸 嘴(54)； 所述第一直线机构(21)、 第二直线机构(22 )、 第三直线机构(23)以及第四直线机构 (24)分别用于驱动第一校正座(31)、 第二校正座(32)、 第三校正座(33)以及第四校正座 (34)纵向移动。 3.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述龙门架(11)设 有用于驱动第一CCD机构(41)横向移动的第二横向移动组件(43)以及用于驱动第二CCD机 构(42)横向移动的第三横向移动组件(4 4)； 所述第一直线机构(21)、 第二直线机构(22 )、 第三直线机构(23)以及第四直线机构 (24)分别用于驱动第一校正座(31)、 第二校正座(32)、 第三校正座(33)以及第四校正座 (34)纵向移动。 4.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述第一校正座 (31)、 第二校正座(32)、 第三校正座(33)以及第四校正座(34)均包括底 座(61)、 转动设于底 座(61)的载物盘(6 3)以及用于驱动载物盘(6 3)转动的电机(62)。 5.根据权利要求4所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述第 一测试机构 (91)以及第二测试机构(92)均包括设于控制 箱(71)、 探针座(72)、 用于驱动探针座(72)横 向移动的第四横向移动组件(73)以及用于驱动探针座(72)升降的第二升降移动组件(74)； 所述探针座(72)设有与控制箱(71)电性连接的正极探针(75)； 所述底座(61)设有与载 物盘(63)连接的负极线。 6.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述龙门架(11)设 有第一打点机构(81)以及第二打点机构(82)； 所述第一打点机构(81)用于在第一校正座 (31)与第二校正座(32)之间移动； 所述第二打点机构(82)用于在第三校正座(33)与第四校 正座(34)之间移动。 7.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述机座(1)设有 加热盘(14)； 所述机械手模组用于在上料架(12)、 第一校正座(31)、 第二校正座(32)、 第三权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217846050 U 2校正座(33)、 第四校正 座(34)、 加热盘(14)以及下 料架(13)之间移动。 8.根据权利要求1所述的一种高效多工位晶圆测试机， 其特征在于： 所述机座(1)设有 待确认盒(15)； 所述机械手模组用于在上料架(12)、 第一校正座(31)、 第二校正座(32)、 第 三校正座(33)、 第四校正 座(34)、 待确认盒(15)以及下 料架(13)之间移动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217846050 U 3